紅外熱像儀應用于半導體制造中快速檢測薄膜元件的成膜質量 紅外熱像儀的應用格物優信熱像儀2025年10月11日半導體制造是極為精密的工藝。單片晶圓上可能有上萬個甚至上百萬個薄膜原件。薄膜元件的成膜質量直接影響著半導體器件…