晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片,成功的半導體加工取決于硅晶圓的質量。溫度變化會直接影響晶片的質量和性能,所以晶圓溫度的控制和監測在半導體工藝中非常重要,若在晶圓生產過程中未做好溫度控制,所生產的產品就不能符合要求,廠家也會因此蒙受巨額損失。
傳統的接觸式的測溫方式可能會對晶圓生產造成干擾,而非接觸式測量則必須針對晶圓的發射率作出補償。目前我們推薦使用紅外熱像儀進行晶圓生產溫度監測,非接觸式測量方案可提供準確、可靠的結果,并且不會對半導體制造所需的高度無菌條件造成干擾。同時,我們先進的信號處理方案可以針對射率和其他可能影響精度的因素做出適當補償。

紅外熱像儀用于晶圓生產溫度監測,優勢頗多,首先,其測溫精度高,可以準確反映晶圓的真實溫度,有效保證產品質量。其次,紅外熱像儀測溫系統具有較高的靈敏度,可以快速響應溫度變化,及時調整生產參數,提高生產效率。而且紅外熱像儀測溫系統的穩定性良好,可長期穩定運行,降低故障率,減少維護成本。最后,紅外熱像儀可以生成溫度數據,這些溫度數據可以供工作人員分析,為提高產品質量提高溫度數據支持。
紅外熱像儀還可以用來檢測晶圓表面的溫度分布,從而找出可能存在的缺陷區域。由于不同材料的熱導率不同,缺陷區域通常會表現出與周圍區域不同的溫度特征。紅外熱成像檢測方法非常適合用于檢測晶圓上的熱漏洞和熱點問題。
綜上,紅外熱像儀在半導體加工晶圓生產中的應用擁有諸多優勢,后期會有越來越多的晶圓生產廠家選擇紅外熱像儀作為溫度監測和缺陷檢測的儀器。






