紅外熱像儀應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中快速檢測(cè)薄膜元件的成膜質(zhì)量 紅外熱像儀的應(yīng)用格物優(yōu)信熱像儀2025年10月15日半導(dǎo)體制造是極為精密的工藝。單片晶圓上可能有上萬個(gè)甚至上百萬個(gè)薄膜原件。薄膜元件的成膜質(zhì)量直接影響著半導(dǎo)體器件…